超纯水制备主要包括以下三个阶段，即初步吸附过滤阶段、反渗透净化阶段和树脂离子交换阶段。

其中，离子交换即是将水中的正离子与离子交换树脂中的H+离子交换，水中的负离子与离子交换树脂中的OH-离子交换，从而达到纯化水的目的。具体说来主要有以下步骤：

1、原水：可用自来水或普通蒸馏水或普通去离子水作原水。

2、预处理系统：原水箱、原水泵、..剂、石英砂过滤器、活性炭过滤器、换热器、阻垢剂系统。

3、双级反渗透系统：保安过滤器、高压泵RO、反渗透系统。反渗透膜可滤除95%以上的电解质和大分子化合物，包括胶体微粒和病毒等。由于绝大多数离子的去除，使离子交换柱的使用寿命大大延长。

4、EDI系统：EDI的作用就是通过除去电解质（包括弱电解质）的过程，将水的电阻率从0.05～1.0MΩ·cm提高到5～16MΩ·cm。

5、抛光树脂：无化学析出的核子级树脂，去除纯水中残余的微量带电离子及弱电解质，使水质达到18MΩ·cm以上。　　

6、终端超滤：能有效地去除水中的微粒、胶体、细菌、热源和有机物力。是整套系统..的防火墙，..产出的高纯水不受二次污染。